Ultrus
适用于下一代低介电材料和薄晶片的超快激光划片解决方案
Ultrus晶片刻槽方案使半导体制造商得以优化其产品性能,解决了现有的及下一代材料和薄晶片在加工中遇到的生产难题。Ultrus系统采用超高速高脉冲率激光加工技术,轻松地将新材料融合到晶片加工流程中。
Ultrus 降低了解决新型材料和薄晶片等综合问题的用户成本,满足了持续大批量生产的需求。
Ultrus应用的超快激光技术使芯片制造商能够在生产中使用前沿的加工技术,并且能够保持高抗损强度,减小热影响区。它使得从更广泛材料的晶圆切片上移除金属层和易损材料变得更加精确而不会破坏下层设备。其结果是制造出更高质量的产品并提高了后续生产率。